单晶硅

单晶硅制备：熔融，拉伸，切割。

电池

多晶硅原料，单晶硅棒，单晶硅片，单晶太阳能电池，太阳能组件，发电集成系统。

PERC SE电池结构[编辑 | 编辑源代码]

在正面制备选择性发射结，背面沉积介质膜钝化层AlOSiNx，此结构可提高电池光电转换效率。

降低扩散层复合，提高光线的短波响应;
减少前金属电极与硅的接触电阻，提高短路电流、开路电压和填充因子;
降低背表面复合速率，提升开路电压;
增强背表面长波光反射效应，提升短路电流。

PERC电池工艺流程：[编辑 | 编辑源代码]

PERC高效电池工艺流程

制绒，扩散【选择发射结】，刻蚀【热氧+AlOx+SiNx】，PECVD/ARC【激光开槽】、丝网印刷、烧结【退火】、测试分选。

Textrin-> Diffusin (Selective ) -> Etching (Hot Oxyz + AlOx + SiNx Passivation) -> PECVD/ARC (Laser grooving) -> Printing -> Firing (annealing) -> Firing

PERC电池制程-制绒[编辑 | 编辑源代码]

原理：一定浓度、温度的碱溶液和硅片各向异性的腐蚀。

目的：去除表面损伤层，降低反射率，可以达到多次光吸收。

扩散：[编辑 | 编辑源代码]

采用三氯氧磷（POCl3）液态源扩散方法，在硅片表面形成N型层；

目的：形成PN结（太阳电池核心单元）；

化学反应：

4POCl3+3O2 ->>2P2O5+6Cl2

2P2O5+5Si ->> 5SiO2+4P

扩散装置

扩散示意图

PERC 电池制程 SE（Selective Emitter, 选择性发射极）[编辑 | 编辑源代码]

①SE电池:

SE电池是选择性扩散电池（selective emitter),由中电光伏(CSUN)的赵建华博士发明。即在金属栅线（电极）与硅片接触部位进行重掺杂，在电极之间位置进行轻掺杂，这样的结构可降低扩散层复合，由此可以提高光线的短波响应，同时减少前金属电极与硅的接触电阻，使得短路电流、开路电压和填充因子都得到较好的改善，从而提高转换效率。

SE电池的主要特点是金属化区域磷高浓度掺杂，光照区域磷低浓度掺杂。金属化区域浓扩散区结深大，烧结过程中金属等杂质不易进入耗尽区形成深能级，反向漏电小，并联电阻高;光照区域掺杂浓度低，短波响应好，短路电流高;横向扩散高低结前场作用明显，利于光生载流子收集。

②激光SE电池原理:

单晶硅片制绒后进行浅结热扩散，利用激光根据金属化图形将硅片扩散后形成的PSG层作为杂质源进行掺杂处理，驱入实现局部重扩散。在原有的电池工艺基础上增加激光二次扩散制作SE电池。

③激光SE电池工艺关键点:

要提高SE电池的光谱响应及光谱响应范围，提高电池效率，需要对电池正面无栅线区域制作浅的PN结，又需要足够的P源以利于使用二次激光扩散。激光二次扩散的结深要与后续的正面银电极烧结相匹配。使得正面银电极与电池片形成欧姆接触，且银电极不能烧穿结区。